江苏海思光刻机成功验收，首台设备即将发往欧洲市场

近日，江苏海思半导体科技有限公司迎来了重大的里程碑，成功完成两台光刻机的出厂验收和发运，其中一台设备即将远赴欧洲市场。这是该公司自2024年以来向国际市场交付的第17台光刻设备。10月12日，来自境外客户的验收代表团特别前往HISIGK的洁净生产车间，对一台全自动光刻机进行最终检验。根据双方的协议，验收通过后，该设备将迅速发运，跨越8000公里送达欧洲客户。紧接着在10月13日，另一台专为8英寸晶圆设计的全自动掩模对准光刻机也完成了调试并进行装车发运。这台光刻机配备了SMIF天车上料系统，主要用于硅基Micro LED晶圆的图形化处理，为新型显示行业提供了重要的设备支撑。此外，该设备的正面对准精度在正负0.5微米之内，配合可选的背面对准模块，精度则提升至正负2微米。光刻机是半导体制造中的关键设备，其出口标志着国产装备在技术成熟度和可靠性方面已达到国际客户的高标准。HISIGK的核心团队在黄光区光刻工艺领域深耕了15年，产品从1微米级接触式光刻机扩大到350纳米和500纳米分辨率的步进式投影光刻机。目前，HISIGK在苏州相城和成都天府新区设立了双生产基地，形成了涵盖2至12英寸晶圆的完整产品线，广泛应用于MEMS、化合物半导体、功率器件、3D封装，乃至AR和Micro LED等多个领域。